■可配置液體或氣體樣品；
■可實現(xiàn)標(biāo)樣加濕功能；
■兩級高精度MFC控制；
■稀釋比高；
■全自動運行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt；
■可針對不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品。
APK6100E半導(dǎo)體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)，是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chǎn)品，可配制五種標(biāo)氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000，二級稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用于傳感器生產(chǎn)商，半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學(xué)研究?？筛鶕?jù)用戶要求定制。
特點：
苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;
帶有加濕功能，可控制稀釋后氣體濕度
高精度質(zhì)量流量計（MFC），配制氣體濃度精準(zhǔn)
可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊
應(yīng)用：
傳感器生產(chǎn)商
半導(dǎo)體生產(chǎn)商
科研院所
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